洁净室气体管道工艺安装的要求

　　1、洁净室不同气体管道的敷设应按设计要求进行，无明确要求时，干燥气体管道应水平安装；安装输送潮湿气体的管道时，其坡度应不小于相关规定。这个斜坡被称为冷凝水收集器。
　　2、洁净室气体管道连接采用焊接。管道的工艺焊接应根据《现场设备和工业管道焊接工程施工及验收规范》（GB 50236-1998）的要求进行，对I、11和内壁清洁度有严格要求的单面焊缝应涂底漆。涂装后洁净室管道的焊缝应及时用盖子填充。不锈钢焊接时，应采用氩弧焊打底，焊缝内部应采用氩气保护，点焊时还应向管道内注入氩气进行保护。
　　3、洁净室气体管道与设备、阀门等附件应采用法兰连接或螺纹连接。而且，为了保证管道连接的密封性和洁净室气体的洁净度，法兰垫片和螺纹接头的填充物须是聚W氟乙烯板和薄膜，禁止使用铅油麻等填充物。
　　4.为了避免洁净室的污染，应通过室内燃气管道的法兰垫片或螺纹填料对裸露部分进行清洁，以避免灰尘积聚。
　　5.洁净室气体管道应为碳钢管，并经过喷砂、去磅或酸洗和净化处理。管道的一般施工方法为:下料-编号-预组装-喷砂等处理-正式安装-充氮密封。通常，为了确保管道安装后不再氧化和生锈，应缩短施工周期，须采用集中安装方法，并在48小时内分段安装，并使用填充压力不低于0.2MPa的氮气进行保护。
　　6、洁净室有接地要求的气体管道，导线截面应符合设计要求，焊点须牢固可靠，确保法兰之间接触良好。确保整个管道系统形成完整的导电回路，消除法兰之间垫片对系统的绝缘作用。